納設(shè)智能
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<strong>智能制造</strong> 兼容AGV&天車，可實(shí)現(xiàn)全自動化配套； 配置NH3、N2、TMAL模塊，可自由組合，滿足不同產(chǎn)品規(guī)格。 <strong>自主安全</strong> 通過SEMI認(rèn)證，符合行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)和規(guī)范； 具備自主知識產(chǎn)權(quán)，具有獨(dú)特的技術(shù)優(yōu)勢。
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<strong>反應(yīng)腔室</strong> 石墨腔室配件數(shù)量少，結(jié)構(gòu)更簡化；? 腔室進(jìn)氣/傳片方式獨(dú)特，減少外延掉落物。 <strong>尾氣系統(tǒng)</strong> 維護(hù)僅打磨平板石墨件，方便配件的清理操作；? 維護(hù)無需分離傳輸腔，只打開腔室后端法蘭，維護(hù)簡易。 <strong>氣體系統(tǒng)</strong> 5區(qū)進(jìn)氣，乙烯/三氯氫硅每區(qū)獨(dú)立控制；? 各區(qū)碳硅比獨(dú)立控制，調(diào)整更靈活。 <strong>晶圓控制</strong> 工藝中晶圓轉(zhuǎn)速可精確調(diào)控；? 工藝中晶圓高度位置精確調(diào)控。
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<strong>精確：氣路獨(dú)立可控</strong> ● 精湛：工藝指標(biāo)優(yōu)異 ● 低耗：耗材成本更低? ● 省時(shí)：維護(hù)頻次更低? ● 進(jìn)階：NP型靈活切換
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薄膜性能：片內(nèi)/片間/批次間不均勻性＜±5%，折射率不均勻性＜±3%（不均勻性=(最大值-最小值)/(最大值+最小值)） 產(chǎn)品特色：A源B源氣路獨(dú)立，工藝距離可調(diào)，源瓶壓力可控，自動傳片及取片，可擴(kuò)展腔體及氣路數(shù)量，支持客戶定制
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