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    最新突破 | 納設智能成功研發(fā)8英寸碳化硅外延設備


    

    

    

    




    

    發(fā)布時間：


    
2023-08-29 10:58







    


 



















隨著SiC應用領域的擴展，需求的激增，產業(yè)對于SiC外延片品質和產能要求不斷提高，SiC外延設備也就占據(jù)了產業(yè)鏈上游關鍵環(huán)節(jié)。











 







 









 











 











納設最新突破









 









近日，納設智能成功研制出更大尺寸具有更多創(chuàng)新技術的8英寸碳化硅外延設備，此設備具備獨特反應腔室設計、可獨立控制的多區(qū)進氣方式、以及智能的控制系統(tǒng)，將更好的提高外延片的均勻性，降低外延缺陷及生產中的耗材成本。
















 











 











 











 











 











 





      目前，6英寸碳化硅技術已經趨向成熟，產業(yè)正在向8英寸邁進，相信在不久的將來會進入8英寸時代。晶圓尺寸越大，外延工藝難度也就越大，必然對設備提出更高的要求，正所謂“一代設備，一代工藝”，納設智能開發(fā)的8英寸碳化硅外延設備順應了產業(yè)向更大尺寸的發(fā)展趨勢，在技術上具有前瞻性，同時能夠向下兼容6英寸外延，非常符合當前市場對于6英寸和8英寸兼容的需求。










      在技術上，納設智能持續(xù)圍繞提升工藝指標、降低耗材成本和維護頻次方面進行產品的迭代優(yōu)化，不斷在反應室系統(tǒng)，氣體輸運系統(tǒng)和整體軟件系統(tǒng)等方面進行技術創(chuàng)新。目前，納設智能已實現(xiàn)8英寸碳化硅外延設備的交付，該設備在客戶現(xiàn)場生產的外延片厚度不均勻性≤2%，濃度不均勻性~4%，表面粗糙度≤0.3cm-2，缺陷控制良好。










      納設智能以市場需求為導向研發(fā)新裝備，解決一批核心問題，形成一批自有技術，相關技術指標的突破，標志著納設智能已成功掌握8英寸SiC外延設備相關技術，可為行業(yè)提供更為先進的技術支持，進一步提高我國碳化硅產業(yè)自主創(chuàng)新能力，促進第三代半導體產業(yè)的發(fā)展。















 













關于納設智能














 















深圳市納設智能裝備有限公司創(chuàng)立于2018年，坐落于深圳市光明區(qū)留學人員創(chuàng)業(yè)園。公司以“成為全球先進材料制造設備引領者”為愿景，以“提升中國先進材料制造能力”為使命，致力于第三代半導體、碳納米材料等先進材料制造設備的研發(fā)及產業(yè)化，技術處于國內領先水平。核心團隊由世界著名半導體設備公司的科學家、劍橋大學博士和材料設備領域資深專家組成。公司自有第三代半導體碳化硅外延設備研發(fā)技術榮登“科創(chuàng)中國”先導技術榜單。公司認證有ISO9001質量管理體系及售后服務體系，于2020年被評定為具有高成長性的“國家高新技術企業(yè)”，2022年榮獲深圳市“專精特新”中小企業(yè)認定。















 














    




    

    

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